Cảm biến lực được sử dụng trong rất nhiều ứng dụng và một trong những phương pháp phát hiện chính là sử dụng cảm biến điện dung. Các hệ thống cảm biến này dựa trên công nghệ tấm song song và MEMS. Lực được phát hiện bằng sự thay đổi giá trị điện dung. Phản ứng này là phi tuyến tính đối với phạm vi tải và dẫn đến sự không khớp giữa nhận thức của người vận hành và mức đầu ra thực tế. Các hệ thống này cũng khó mở rộng quy mô do chi phí MEMS cao hơn cho các cảm biến có kích thước lớn hơn.